電子線マイクロアナライザー

私が担当しているEPMA（電子線マイクロアナライザー）の概要を紹介します．

機種・構成

日本電子の電子プローブマイクロアナライザーJXA-8230です．

  • 電子銃には，LaB6単結晶を用いた熱電子放出型のものを用いています．FEではありません．
  • WDS（波長分散型）です．分光結晶は，LIF(/LIFH)，PETJ(/PETH)，TAP，LDE1，LDE2が装着されています．最大で4元素を同時に分析することができます．
  • 最大で10cm四方の試料を分析することができます．
  • EDS（エネルギー分散型）の検出器は装備されていません．SXES（軟X線分光器）ももちろんありません．
  • 測定中のコンタミネーション付着を防ぐための液体窒素トラップも装備しています．（使ったことがないのでよくわかりません．）

位置付け

本装置は，弘前大学の共用機器基盤センターに所属しています．つまり，弘前大学の教職員や学生はもちろんのこと，それ以外の人（自然人，法人）も所定の手続きに従うことで本装置を使用できます．ちなみに，青森県内でこのように開放されているEPMAは他にないと思います．EDS付きの電子顕微鏡は，青森県産業技術センターの工業総合研究所（青森市）や八戸工業研究所にあるようです．