電子線マイクロアナライザー

私が担当しているEPMA(電子線マイクロアナライザー)の概要を紹介します.

機種・構成

日本電子の電子プローブマイクロアナライザーJXA-8230です.

  • 電子銃には,LaB6単結晶を用いた熱電子放出型のものを用いています.FEではありません.
  • WDS(波長分散型)です.分光結晶は,LIF(/LIFH),PETJ(/PETH),TAPLDE1,LDE2が装着されています.最大で4元素を同時に分析することができます.
  • 最大で10cm四方の試料を分析することができます.
  • EDS(エネルギー分散型)の検出器は装備されていません.SXES(軟X線分光器)ももちろんありません.
  • 測定中のコンタミネーション付着を防ぐための液体窒素トラップも装備しています.(使ったことがないのでよくわかりません.)

位置付け

本装置は,弘前大学の共用機器基盤センターに所属しています.つまり,弘前大学の教職員や学生はもちろんのこと,それ以外の人(自然人,法人)も所定の手続きに従うことで本装置を使用できます.ちなみに,青森県内でこのように開放されているEPMAは他にないと思います.EDS付きの電子顕微鏡は,青森県産業技術センターの工業総合研究所(青森市)や八戸工業研究所,八戸工業高等専門学校の地域テクノセンターにあるようです.