私が担当しているオージェ電子分光装置の概要を紹介します．

機種・構成

機種は日本電子のフィールドエミッションオージェマイクロプローブJAMP-9500Fです．

• 電界放出型の電子銃を備えており，最小で8nm径の領域に対して分析できます．
• 同心半球型アナライザ(HSA)を備えています．2500eVまでの放出電子を検出することができます．
  • 反射EELS（電子エネルギー損失分光）のような使い方も可能です．
• イオン銃を備えており，表面のエッチングや帯電の中和をすることができます．
• 反射電子検出器が装備されています．COMPO像やTOPO像を観察することができます．
• 試料ホルダは，12mm径のものと20mm径のものを備えています．ただし外周にネジがあるので，試料サイズは15mm径ぐらいが限度だと思います．（有効径が20mmでした．）他に断面観察用ホルダもあります．
• ピーク分離のためのソフトウェア，ならびに標準ピークデータがインストールされています．
• 広域マップ分析（ミリメートル単位の領域をステージスキャンでマッピングする）が可能です．
• 試料冷却破断装置が装備されています．（私は使ったことがありませんが…．）

位置付け

本装置は，弘前大学の共用機器基盤センターに所属しています．つまり，弘前大学の教職員や学生はもちろんのこと，それ以外の人（自然人，法人）も所定の手続きに従うことで本装置を使用できます．（青森県内でこのように開放されているオージェ電子分光装置は，他にないと思います．）